受政府补助影响，制程设备表现亮眼；2)订单高速增长，维持全年40亿新增订单目标；3)制程设备获得持续订单，14nm制程设备实现出货；4)高纯工艺系统逐步实现自给，产能建设支撑业务发展。风险提示：供应链安全风险；下游资本开支不及预期风险；存货减值风险。

　　AI点评：近一个月获得3份券商研报关注，买入3家，平均目标价为42.82元，与最新价36.02元相比，高6.8元，目标均价涨幅18.88%。