西湖仪器实现 12 英寸碳化硅衬底自动化激光剥离
西湖仪器宣布率先成功实现 12 英寸碳化硅 衬底激光剥离自动化解决方案。该方案大幅降低损耗,提升加工速度,推进了碳化硅行业的降本增效。
在此前的 2024 年 11 月,天岳先进发布了业界首款 300mm 的 N 型碳化硅衬底。更大的衬底尺寸扩大了单一晶圆上可用于芯片制造的面积,降低了边缘损失比例,而这也带来了对 12 英寸及以上的超大尺寸碳化硅衬底切片技术的需求。
西湖仪器开发的新技术实现了晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的西湖仪器技术有限公司成立于 2021 年 12 月,是一家集研发、生产、销售的专业化仪器设备公司,其
