据美国商务部当地时间昨日新闻稿，该部门与美国该站点名为“EUV 加速器”，重点推进最先进的 EUV 光刻技术以及依赖于该技术的研发工作，预计将获得 8.25 亿美元的美国联邦投资支持。

　　“EUV 加速器”站点将于 2025 年开始运营，除这一 EUV 光刻站点外，美国还计划建设原型制造和先进封装制造领域的研发设施。