买入评级。评级理由主要包括：1)本土CMP设备龙头，持续高速增长；2)逻辑一：CMP新增需求超500亿元，公司CMP业务有较大成长空间；3)逻辑二：CMP后市场是重要组成部分，公司耗材服务收入快速提升；4)逻辑三：晶圆再生需求日益增长，IPO扩产将成公司新的增长点。风险提示：晶圆厂资本开支下滑、新品研发&客户验证进程不及预期等。

　　AI点评：近一个月获得6份券商研报关注，买入2家，增持1家，平均目标价为239元，与最新价229.81元相比，高9.19元，目标均价涨幅4%。