(600641.SH，最新价：15.42元)买入评级。评级理由主要包括：1)离子注入收入同比大增，在手订单饱满；2)加码拟入股推进产业协同。风险提示：全球景气度不及预期；晶圆厂资本开支不及预期；国内设备公司技术研发不及预期；国产化进度不及预期风险。