英国南安普敦大学开设全球第二家电子束光刻工
英国南安普敦大学当地时间 4 月 30 日宣布开设全球第二家电子束光刻工厂。这是根据的了解,不同于现有的主流商用技术路线 —— 激光图案化,电子束光刻以高能电子对光刻胶进行曝光,绘制出半导体电路图案。
出席活动的英国科技部国务大臣 Patrick Vallance 表示:
英国拥有一些世界上最令人兴奋的半导体研究成果,南安普敦的新电子束设施将极大地提升我们国家的能力。 通过对基础设施和人才两方面的投资,我们为研究人员和创新者提供在英国开发下一代芯片所需的支持。
