中国科学院成功研发全固态 DUV 光源技术

2025-03-25 10:40:23

  据国际光电工程学会消息,中国科学院研究人员成功研发突破性的固态深紫外激光,论文介绍称,深紫外相干光,尤其是 193 nm 波长的光,附论文链接:

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