三星 3D NAND 量产提效:光刻胶用量减半,每年节

2024-11-26 13:01:04

  而另一个重要因素,是三星使用了更厚的氟化氪光刻胶,通常情况下一次工艺形成 1 层涂层,而使用更厚的光刻胶,三星可以一次形成多个层,从而提高工艺效率。

  不过更厚的光刻胶在生产中也有挑战,由于光刻胶具有高粘度,会在涂层时会导致均匀性问题。

  三星与长期合作伙伴东进半导体化学公司自 2013 年起就密切合作,共同研发高性能光刻胶。东进半导体一直是三星 KrF 光刻胶的独家供应商,为三星第 7 代和第 8 代3D NAND 提供了关键材料。

  消息称从第 9 代 3D NAND 开始,三星将全面应用这项新技术,这一创新举措不仅提高了生产效率,更将为三星节省每年数十亿韩元的巨额成本。

  同时也意味着东进半导体将面临来自三星的订单减少,东进半导体目前每年从光刻胶业务中获得约 2500 亿韩元收入,其中 60% 来自三星。

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