光刻机的厂商(光刻机的供应商有哪些)

2022-09-21 23:13:04

  哪些国家能制造光刻机,都有哪些企业?

  全世界只有中国、日本、荷兰可以制造光刻机,日本的代表企业是尼康、佳能,曾经的光刻机“王者”,后来被荷兰ASML反超后就一蹶不振了,而中国也可以制造光刻机,只是达不到顶尖光刻机的精细程度。

  目前,荷兰ASML一家公司几乎垄断了全球的高端光刻机市场,主要是EUV光刻机,造价极高,暂时没有一家竞争企业可以与之匹敌,每年稳定向大客户供货。

  光刻机的分类

  光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动。

  1、手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了。

  2、半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐。

  3、自动:指的是从基板的上载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。

  生产光刻机有哪些上市公司?

  生产光刻机上市公司有ABM、上海微电子装备有限公司、佳能、尼康、荷兰ASML公司.

  1、ABM

  ABM公司成立于1986年,总部位于美国硅谷San Jose。主要经营光罩对准曝光机(光刻机),单独曝光系统,光强仪/探针。公司的主要市场在美国和亚洲。

  2、上海微电子装备有限公司

  上海微电子装备有限公司坐落于张江高科技园区内,邻近国家集成电路产业基地、国家半导体照明产业基地和国家863信息安全成果产业化(东部)基地等多个国家级基地。

  公司成立于2002年,主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务,公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。

  3、佳能

  佳能的产品系列共分布于三大领域:个人产品、办公设备和工业设备,主要产品包括照相机及镜头、数码相机、打印机、复印机、传真机、扫描仪、广播设备、医疗器材及半导体生产设备等。

  4、尼康

  尼康作为世界上仅有的三家能够制造商用光刻机的公司,似乎在这个领域不被许多普通人知道,许多人只知道尼康的相机做的好,却不知道尼康光刻机同样享誉全球。

  5、荷兰ASML公司

  这是一家总部设在荷兰艾恩德霍芬(Veldhoven)的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。

  全世界只有荷兰可以制造顶级光刻机吗?

  只有荷兰的ASML公司能够制造出顶级的光刻机,主要有三种原因。

  一、ASML公司专注光刻机技术研发,有充足的资金投入。

  光刻机是比印钞机更赚钱,因此全球有多个公司都想从该市场分一杯羹,其中就有尼康和佳能。可光刻机技术研发经费就像一个无底洞,ASML公司就曾将年度盈利的百分之十五全部投入。相比于ASML公司财大气粗,佳能和尼康因为顾及到其他业务,无法耗费如此多经费,在光刻机制造领域渐渐地被ASML公司甩在了身后。

  ASML公司是从飞利浦公司分出来,看到飞利浦因涉足太多产业而濒临破产,它便吸取教训,从独立之日起就一直专注在光刻机制造领域。敬佩ASML公司长远的眼光,在芯片需求登顶的信息时代,其光刻机制造垄断了全球市场,每年的盈利额巨大,从而投入光刻机技术研发的经费更多,循环往复,荷兰ASML公司的光刻机技术研发一骑绝尘。

  二、荷兰拥有良好的科技共享环境。

  整个欧洲经历过战乱,渴望和平、团结。因此二战结束后,出于和平渴望,无形当中为欧洲科技发展提供了一个共享资源环境。荷兰ASML公司就是在科技共享圈中稳步发展起来,一方面ASML公司在掌握光刻机制造核心技术,向他国进口相应的光刻机原件,例如法国提供相应芯片、英国提供软件、德国供给光学组件等;另一方面,ASML公司将原件组装之后,加载光刻机核心技术,并向提供原件的各国输送定制的光刻机,实现双方互利共赢。

  在这种发展模式下,ASML公司的芯片制程可以低于七纳米,精度可以低于五纳米,同时段的我国的光刻机只能有低于90纳米的制程,这种巨大差距,足以看出荷兰ASML公司光刻机技术是多么逆天!

  三、荷兰ASML公司能取长补短地完成大量收购行为。

  荷兰是老牌的资本主义制度国家,奉行的是自由足以贸易,因为在反垄断上限度很低。ASML公司知取长补短,不断吞并收购科技公司,准备集百家之长,取其精华,研发出更为惊叹的光刻机技术。2007年到2016年间,它陆续收购了Brion、Cymer、HMI等等,拥有全球最领先的光刻机缺陷解决方案、准分子激光技术以及电子束检测能力等等。如今的ASML公司已经成为光刻机研发领域的庞然大物,之后怎么可能会有其他科技公司敢与ASML公司对抗?

  光刻机是芯片制造的关键,现在在中国有哪些企业能够研制光刻机?

  光刻机是芯片制造的关键设备,我国投入研发的公司有微电子装备(集团)股份,长春光机所,中国科学院等都在研发,合肥芯硕半导体有限公司,先腾光电科技有限公司,先腾光电科技有限公司, 合肥芯硕半导体有限公司都有研发以及制造。而且有了一定的科研成果,但是目前我国高端芯片的制造却主要依赖荷兰进口的光刻机。我国光刻机在不断发展但是与国际三巨头尼康佳能(中高端光刻机市场已基本没落)ASML(中高端市场近乎垄断)比差距很大。

  光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠,研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此,能生产高端光刻机的厂商非常少,到最先进的14nm光刻机就只剩下ASML,日本佳能和尼康已经基本放弃第六代EUV光刻机的研发。相比之下,国内光刻机厂商则显得非常寒酸。

  上海微电子装备(集团)股份有限光刻机主要用于广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造领域,2018年出货大概在50-60台之间。营业收入未公布,政府是有大量补贴的。处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是90nm光刻机,制程上的差距就很大,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。

  2016年11月15日,由长春光机所牵头承担的国家科技重大专项02专项——“极紫外光刻关键技术研究”项目顺利完成验收前现场测试。在长春光机所、成都光电所、上海光机所、中科院微电子所、北京理工大学、哈尔滨工业大学、华中科技大学等参研单位的共同努力下,历经八年的戮力攻坚,圆满地完成了预定的研究内容与攻关任务,突破了现阶段制约我国极紫外光刻发展的核心光学技术,初步建立了适应于极紫外光刻曝光光学系统研制的加工、检测、镀膜和系统集成,为我国光刻技术的可持续发展奠定了坚实的基础。

  合肥芯硕半导体有限公司成立与2006年4月,是国内首家半导体直写光刻设备制造商。该公司自主研发的ATD4000,已经实现最高200nm的量产。

  无锡影速成立与2015年1月,影速公司是由中科院微电子研究所联合业内资深技术团队、产业基金共同发起成立的专业微电子装备高科技企业。影速公司已成功研制用于半导体领域的激光直写/制版光刻设备、国际首台双台面高速激光直接成像连线设备(LDI),已经实现最高200nm的量产。无锡影速成立与2015年1月,影速公司是由中科院微电子研究所联合业内资深技术团队、产业基金共同发起成立的专业微电子装备高科技企业。影速公司已成功研制用于半导体领域的激光直写/制版光刻设备、国际首台双台面高速激光直接成像连线设备(LDI),已经实现最高200nm的量产。

  先腾光电成立于2013年4月,已经实现最高200nm的量产,在2014国际半导体设备及材料展览会上,先腾光电亮出了完全自主知识产权的LED光刻机生产技术,震惊四座。

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