台积电将在 2024~2025 年接收超 60 台 EUV 光刻机，而其今明两年在 EUV 光刻机上的投入将超 4000 亿新台币。

　　报道表示，台积电今明两年将分别下达约 30 和 35 台的 EUV 光刻机订单，台媒援引供应链消息指出，ASML 对 2025 年产能的规划是 20 台 High-NA EUV 光刻机、90 台 EUV 光刻机和 600 台 DUV 光刻机。

　　▲ASML 目前最先进的 0.33NA EUV光刻机 NXE:3800E

　　根据台积电官方路线图，其目前已规划的最先进工艺 16A 将于 2026 年量产，仍采用传统 0.33NA EUV 光刻机。换句话说，虽然 ASML 方面已确认将在 2024 年内向台积电交付 High-NA EUV 光刻机，但台媒也表示，