英特尔已于去年底收到了 ASML 交付的首台机器。

　　三星电子已表示计划 2027 年实现 1.4nm 工艺量产。考虑时间上的关系，韩媒이데일리预计其将从 1nm 工艺开始导入 High-NA 光刻机。