称，荷兰ASML正在研发新款光刻机，价值高达4亿美元，双层巴士大、重超200吨。

　　 原型机预计2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出货。

　　 这款机器应该指的就是High-NA EXE！5200，Intel是全球第一个下单的公司。所谓High-NA也就是高数值孔径，2nm之后的节点都得依赖它实现。

　　 在ASML公布的今年一季度财报中，EXE！5200已经订出去不止一台。按计划，第一台原型试做机2023年开放，预计由imec装机，2025年后量产，第一台预计交付Intel。

　　 据了解，实际上，ASML的EUV光刻机非常庞大，现售的0。33NA EUV光刻机拥有超10万零件，需要40个海运集装箱或者4架喷气货机才能一次性运输完成，单价1。4亿美元左右。