中微公司表示，该设备在帮助LED芯片制造商提高产能的同时能够有效地降低生产成本。据介绍，中微公司Prismo系列MOCVD设备已进入全球大多数氮化镓基蓝绿光LED制造商，此次推出的PrismoUniMax是中微公司Prismo系列MOCVD设备的最新产品，该设备在同一系统中可配备多达4个反应腔。PrismoUniMax配置了多区温度补偿加热系统，具备波长均匀性、重复性和稳定性。该设备还具有其他一些特征，如通过石墨盘晶片排布的最优化，其加工容量可以延伸到生长164片4英寸或72片6英寸晶片。获悉，中微公司PrismoUniMaxMOCVD设备已收到来自国内客户的订单。