买入评级。评级理由主要包括：1)CMP设备快速放量，收入端延续高速增长；2)产品结构优化&规模效应显现，扣非盈利水平大幅提升；3)CMP设备具备持续扩张潜力，后服务&晶圆再生业务打开成长空间。风险提示：晶圆厂资本开支下滑、新品研发&客户验证进程不及预期等。

　　AI点评：近一个月获得4份券商研报关注，买入4家，平均目标价为270元，与最新价282.6元相比，低12.6元，目标均价跌幅4.46%。