2.66亿元，同比增长35.31%；归母扣非净利润为1.95亿元，同比增长110.67%；基本每股收益0.68元，较上年同期增长36.00%。

　　对于业绩的大幅增长，公司表示，主要系公司始终坚持差异化竞争和创新的研发战略，通过自主研发形成了一系列技术积累，产品竞争优势突出。2021年度受益于半导体产业市场需求的持续增长，公司主营业务收入较上年同期有较大增长，带动公司归属于母公司所有者的净利润及归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润同比实现较大增长。归母扣非净利润与归母净利润的比例高达73.3%。