相关检测设备的研发，目前主要在晶圆缺陷检测方面，短期占比有限。另，公司之参股公司之一鼎泰芯源业务主要包括磷化铟为主的III-V族化合物单晶材料的商业化生产；参股公司之二苏州焜原主要从事III-V族化合物材料和器件的研发和生产，致力于构建分子束外延高性能半导体材料和器件的研发及产业化基地。