上海中微半导体 刻蚀机(上海中微半导体刻蚀机)

2022-10-07 01:17:57

  某网络媒体未经证实发布了关于 “当所有的巨头还在为10nm、7nm技术大肆进军的时候,中国中微正式宣布掌握5nm技术”的误导性新闻,后经多家媒体造成了不实信息的扩散。

  中微公司从未发布上述信息,也从未授权任何媒体机构和个人刊发、此报道。该报道曲解了中微在3月11日CCTV-2《中国财经报道》节目中的采访内容,节目中提到中微公司的某个机台正在测试5纳米工艺。

  在采访报道中,中微董事长兼CEO尹志尧博士表示:“国际上最先进的芯片生产公司像英特尔、台积电、三星,他们的14纳米已经成熟生产了,10纳米和7纳米很快进入生产,所以我们必须超前,5纳米今年年底基本上就要定了,现在进展特别快,几乎一年两年就一代,所以我们就赶得非常紧。”

  实际上,正是中微的客户——国际一流的集成电路制造厂商,推动了芯片技术和生产一代又一代的进步。中微作为设备公司,是向他们提供可加工先进器件的设备,协助他们实现新一代器件的开发和生产。中微不可能脱离他们的5纳米技术开发,而独立地掌握5纳米技术。

  中微从事的是半导体高端设备的开发、销售和售后服务,是一种市场化的商业行为,在国际半导体设备产业,参与产业链的合作和竞争也是十分正常的。文章的

  扩展资料

  刻蚀机是芯片制造的核心设备,和光刻机的作用是一样重要的,只不过其不存在技术壁垒,所以不存在一家独大的局面。

  刻蚀机主要用来在芯片上进行微观雕刻,刻出又细又深的线条和接触孔,需要注意的是,这些线条和接触孔的加工精度是头发丝直径的几万分之一,可见这项工作有多精细,这也对刻蚀机的精度提出了很高的要求,不能有丝毫偏差,而如今中微半导体成功研发出5nm刻蚀机也能够解决芯片研发中的难题,意义重大。

  中微半导体刻蚀机不仅获得台积电的认可,而且还获得不少国产厂商的青睐,近日长江存储就向中微半导体采购9台刻蚀机,接下来中微半导体还将和粤芯、合肥长鑫等多家厂商合作,国产厂商齐心协力,共同打赢这场芯片反击战。

  :百科—中微半导体设备(上海)有限公司

  中国的光刻机与刻蚀机已经达到世界先进水平,为什么有些人还说中国芯片业依旧前路艰辛?

  据媒体报道,2018年12月,中微半导体设备(上海)有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线纳米,相当于头发丝直径(约为0.1毫米)的二万分之一,将成为集成电路芯片上的最小线年量产。

  ▲半导体器件工艺制程从14纳米微缩到5纳,等离子蚀刻步骤会增加三倍

  刻蚀机是芯片制造的关键设备之一,曾一度是发达国家的出口管制产品。中微半导体联合创始人倪图强表示,中微与科林研发(Lam Research)、应用材料(Applied Materials)、东京威力科创(Tokyo Electron Limited)、日立全球先端科技 (Hitachi High-Technologies) 4家美日企业,组成了国际第一梯队,为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。中微半导体如今通过台积电验证的5纳米刻蚀机,预计能获得比7纳米更大的市场份额。

  中科院SP超分辨光刻机

  提问者所说的中国光刻机达到世界先进水平,应该是指2018年11月29日通过验收的,由中国科学院光电技术研究所主导、经过近七年艰苦攻关研制的“超分辨光刻装备”项目。

  该项目下研制的这台光刻机是“世界上首台分辨力最高的紫外(即22纳米@365纳米)超分辨光刻装备”。这是一种表面等离子体(surfaceplasma,SP)超分辨光刻装备。

  ▲中科院研制成功并通过验收的SP光刻机

  该光刻机在365纳米光源波长下,单次曝光最高线纳米。结合双重曝光技术后,未来还可用于制造10nm级别的芯片......

  中国的刻蚀机的确是达到了世界先进水平,光刻机还早,而且就算是这两样都世界先进了,不代表中国芯片业的前路就不艰辛了。目前中国的刻蚀机的确领先,5纳米等离子体刻蚀机已经通过台积电验证;但是光刻机就差多了,之前新闻报道中提到的“中科院SP超分辨光刻机”其实最多只能算是一个“原型机”,和ASML的光刻机不能相提并论,也不能用来制造芯片,还需要攻克一系列的技术难题退一步讲,就算是中国的光刻机与刻蚀机都达到世界领先就解决问题了么?ASML的EUV光刻机我们已经下单等待交货了,是不是到货以后中国就可以生产7nm甚至是5nm的芯片了不要把问题想简单了,以为芯片也只有光刻机和刻蚀机。芯片制造的技术、经验、工艺以及人才是一个系统性的工程,台积电也不是一天建成的,有了光刻机也不代表我们就能造出最顶尖的芯片。

  中微半导体(深圳)股份有限公司于2001年06月22日成立。法定代表人周彦。

  公司经营范围包括:一般经营项目是:集成电路、计算机软件产品、电子及电子相关产品的设计、技术开发与销售;经营进出口业务(以上法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)等。

  2022年8月4日,据上交所,中微半导体(深圳)股份有限公司A股股票将在本所科创板上市交易。该公司A股股本为约4亿股,其中5394.02万股于2022年8月5日起上市交易。

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