东京电子推出 Acrevia 气体团簇光束系统,加入

2024-08-14 19:16:43

  应用材料已累计收获 2 亿美元的 Centura Sculpta 系统订单,台积电和英特尔已引入该系统,三星电子也在对该系统在 4nm 工艺中的应用进行评估。

  东京电子方面人士表示:“我们正在与逻辑和半导体合同制造客户一起评估 Acrevia 设备的性能”。韩媒认为这是 Acrevia 系统即将开始供应的暗示。

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