三星正考虑从明年开始，在芯片生产中使用回收的氖气，这也让其成为业内首家在光刻工艺中使用回收氖气的公司。

　　报道进一步指出，三星电子已与当地一家材料公司联手开发相关装置，用于从激光废料流中捕捉氖气，并通过提纯等方式回收氖气。

　　三星计划明年开始在光刻过程中使用回收氖气，根据韩国海关总署的数据，2023 年韩国氖气进口总量将达到 102782 升，进口额达到 1680 万美元。

　　氖气是一种稀有的惰性气体，也是光刻工艺中不可或缺的原材料。它用于产生激光，将电路图案转移到基板上，同时也广泛应用于半导体以及显示器等其他行业。