▲ ASML 的 0.33 NA EUV 光刻机 NXE:3800E

　　按 Rapidus 此前的规划，该公司

　　▲IIM-1 晶圆厂概念图

　　除 Rapidus 外，美光 1-gamma制程 DRAM 内存需使用 EUV，