曝三星正研究用于芯片生产的聚焦环新材料,考虑用B4C替代SiC

2022-10-07 13:02:37

  三星正在研究和开发一种用于制造聚焦环的新材料。

   人士称,这家科技巨头目前正在与拥有 B4C 相关技术的合作伙伴合作,对 B4C 聚焦环进行质量测试。

   人士称,在当前阶段,环表面出现了颗粒。

   人士还说,三星还需要衡量用 B4C 替代 SiC 的经济可行性。

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