我国科学家开发出人造蓝宝石介质晶圆,为低功
随着电子设备不断小型化和性能要求的提升,芯片中的晶体管数量持续增加,尺寸日益缩小,同时也带来了新的技术挑战,尤其是在介质材料方面。
经过多年研究攻关,中国科学院上海微系统与信息技术研究所成功研制出一种人造蓝宝石作为绝缘介质的晶圆,为开发低功耗芯片提供了重要的技术支撑。相关成果今日已发表在国际学术期刊官方表示,通过采用这种新型材料,据介绍,这种晶体的介质材料通过插层氧化的技术对单晶铝进行氧化,实现了单晶氧化铝作为介质材料,它在 1 纳米下能够实现非常低的泄漏电流。