美光加速 EUV 技术攻坚,1γ DRAM 工艺目标 2025 年量

2024-06-27 21:05:40

  不同于其他半导体龙头,美光并不急于为 DRAM 引入EUV 光刻技术,因此该公司目前所有量产芯片都是采用 DUV 光刻机制造。

  不过,美光最终还是无法避免使用 EUV 技术,并于今年开始在其 1γ 工艺上进行试生产,该工艺计划于明年进入大规模量产 阶段。

  美光科技首席执行官 Sanjay Mehrotra 在刚刚举行的电话会议上表示:“采用极紫外光刻技术的 1γ DRAM 试产进展顺利,我们正按计划于 2025 年实现量产。”

  目前,美光正在日本广岛工厂开发采用 EUV 的 1γ DRAM 制造工艺,这也是首批 1γ 内存的试产地。

  Mehrotra 今年 3 月还表示:“我们正在不断改进使用极紫外光刻技术的生产能力,并在 1α 和 1β 节点上实现了 EUV 和非 EUV 工艺流程的等效良率和质量。我们已经开始采用 EUV 进行 1γ DRAM 试产,并计划于 2025 年实现量产。”

  除了采用 EUV 技术的 1γ 和 1δ 生产工艺之外,美光还打算在未来几年探索 3D DRAM 架构以及用于 DRAM 生产的高数值孔径 EUV 技术。

  当地时间 6 月 26 日,美光公布了第三财季业绩报告。数据显示,由于 AI 领域持续高速发展,存储解决方案需求攀升,使美光数据中心收入“如虎添翼”,该财季总营收达到68.1 亿美元,同比更是大增 81.6%,优于分析师此前预期的 66.7 亿美元。

  展望截至今年 8 月底的第四财季,美光预计营收区间为74 亿-78 亿美元,区间中点基本符合分析师预期的 75.8 亿美元。

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