台积电首席执行官魏哲家撇开了 5 月 23 日自家举办的“台积电 2024 技术研讨会”，台积电张晓强博士于 5 月 14 日出席在阿姆斯特丹举办的技术研讨会，他直言：“ASML 的 High-NA EUV 太贵了，我非常喜欢 High-NA EUV 的能力，但不喜欢它的价格”。

　　台积电正考虑为划于 2026 年下半年量产的 1.6 纳米产品 A16 之后的工艺引入 High NA EUV 设备，同时在此之前使用现有 Low NA EUV 设备。