英特尔展示 ASML 首台 High-NA EUV 光刻机交付过程
英特尔携手 ASML 宣布高数值孔径 High NA EUV 光刻机实现“初次曝光”里程碑后,近日再次分享了一段,英特尔在中记录了第一台光刻扫描仪 ASML Twinscan EXE:5000 的交付过程,从来看相关组件是通过空运从荷兰运到美国的,因此相比海运可以进一步缩短交货时间。
ASML 于今年 2 月展示了 High-NA 极紫外 光刻机,价值 3.5 亿欧元,重量相当于两架空客 A320 客机,被 ASML 公司宣称为芯片制造商参与人工智能热潮的“必备品”。
ASML 发言人 Monique Mols 在公司位于荷兰费尔霍芬的总部举行的媒体参观活动中表示,安装这台重达 150000 公斤的系统共计用时 6 个月,需要 250 个集装箱和 250 名工程师。